gyökércsavaros vákuumszivattyú egység félvezetőgyártáshoz

A Roots csavaros vákuumszivattyú egység Roots vákuumszivattyúból és csavaros vákuumszivattyúból áll, amelyek sorba vannak kapcsolva a hatékony szivattyúzás érdekében, és az ipari termelés és a tudományos kutatások egyik fontos berendezése.

Leírás

A Roots csavarszivattyú egység ötvözi a Roots szivattyúk és a csavarszivattyúk előnyeit, és tiszta, hatékony, olajmentes vákuum megoldást kínál igényes ipari és laboratóriumi alkalmazásokhoz. A résszigetelés kialakításának és a kenőolaj hiánya révén ezek a szivattyúk a működés során magas tisztaságot és kivételes teljesítményt biztosítanak.

A Roots csavarszivattyú egység működési elve

  • Csavaros vákuumszivattyú (előfázis):Előfokozatú szivattyúként működik, nagy szivattyúzási sebességet és alacsony kipufogási nyomást biztosít. A precíz csavarkülönbségeken keresztül történő mechanikus kompresszió hatékony, alacsony zajszintű és alacsony rezgésű működést biztosít.
  • Roots vákuumszivattyú (fő/közbenső):A szinkronban forgó kettős rotorok a kipufogógázt a szívókamrából a kipufogókamrába továbbítják. A résszigetelés megakadályozza az olajszennyeződést, így tiszta vákuumkörnyezetet biztosít.
  • Soros működés:Mindkét szivattyú sorozatban működik, a csavaros szivattyú növeli a vákuumszintet, a Roots-szivattyú pedig biztosítja a stabil, folyamatos szivattyúzási hatékonyságot.

Teljesítményelőnyök

  1. Energiatakarékosság:A szivattyúzási sebesség és a vákuumfok optimális aránya csökkenti az energiafogyasztást, így az energiahatékonyság tekintetében felülmúlja a hagyományos vákuumrendszereket.
  2. Magas hatékonyság:Több mint 90%-os szivattyúzási hatékonyságot ér el, alacsony energiafelhasználás mellett magas vákuumszintet biztosítva különböző folyamatokhoz.
  3. Biztonsági védelem:A fejlett vezérlőrendszer automatikus indítás/leállítás, túlterhelés, túláram és vízszünet védelemmel biztosítja a hosszú távú stabilitást.
  4. Kompakt kialakítás:A függőleges egymásra helyezés vagy létraszerkezet minimálisra csökkenti a helyigényt, ideális helyszűkös gyárakban és laboratóriumokban.
  5. Rugalmas konfiguráció:A szivattyúk közötti szivattyúzási sebesség aránya (1:2 és 1:8 között) állítható, így alkalmazkodik a különböző munkakövetelményekhez.
  6. Korrózióálló teljesítmény:A túlfolyó felületek korrózióálló anyagokkal vannak kezelve vagy azokból készülnek, így alkalmasak korrozív gázok kivonására és zord környezetben való működésre.

Alkalmazási területek

  • Vegyipar:Illékony szerves oldószerek, gázok kivonása és vákuumreaktorokban való felhasználás – széles körben használják vegyipari és gyógyszeripari folyamatokban.
  • Félvezetőgyártás:Vákuumlerakódási, tisztítási és maratási folyamatok támogatása.
  • Élelmiszeripar:Elengedhetetlen az élelmiszer-csomagolás, a dehidratálás és a vákuumszárítási folyamatokhoz.
  • Kohászati ipar:Gázok kivonása kohászati kemencékben és laboratóriumokban az olvasztási folyamatok stabilizálása érdekében.
  • Laboratóriumok és tudományos kutatás:Ideális vákuumkísérletekhez és gázvisszanyeréshez tudományos környezetben.
  • Elektronikai ipar:Integrált áramkörök gyártásában, képernyő vákuumbevonatolásában és egyéb elektronikai gyártási folyamatokban használják.